[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体

摘要

本发明公开了一种惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有基板、绕摆动轴摆动的可动体以及配置于基板的电极。可动体具有隔着摆动轴设置的第一可动部以及第二可动部，第一可动部具有相对于摆动轴与第二可动部对称的对称部以及位于比对称部距离摆动轴更远的一侧，并且与第二可动部非对称的非对称部。电极具有与对称部重叠的第一检测电极以及与对称部以及非对称部重叠且与可动体为相同电位的第一虚拟电极。并且，对称部与第一虚拟电极的分开距离大于对称部与第一检测电极的分开距离。