[发明专利]薄膜体声波谐振器制作方法、薄膜体声波谐振器及滤波器有效
| 申请号： | 202010580855.1 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN111654258B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 董鹏;张智欣;边旭明;段斌;王琦 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 徐琪琦 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜体声波谐振器制作方法、薄膜体声波谐振器及滤波器，其中，本发明的制作方法基于临时键合工艺，既适用于制作压电薄膜为单晶压电薄膜的体声波谐振器，又适用于制作压电薄膜为多晶压电薄膜的体声波谐振器，适用范围广，而且本申请的制作方法摒弃了牺牲层，消除了因制作牺牲层所带来的一系列的影响，既保证了薄膜体声波谐振器的性能和可靠性，又保证了制作薄膜体声波谐振器的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 制作方法 滤波器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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