[发明专利]紫外固化设备中的风机控制方法及紫外固化设备在审
申请号: | 202010580923.4 | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN111701822A | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 魏延宝 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | B05D3/06 | 分类号: | B05D3/06;F04D27/00 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 朱文杰 |
地址: | 100176 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种紫外固化设备中的风机控制方法及紫外固化设备,所述方法包括:获取所述紫外固化设备中紫外固化灯头的目标风压值,检测当前所述紫外固化灯头内的第一风压值;基于所述目标风压值和所述第一风压值,根据预设闭环控制算法,确定所述紫外固化灯头的对应的风机的控制频率;基于所述控制频率,控制所述风机向所述紫外固化灯头内送风,通过本方法,可以使所述紫外固化灯头内的风压保持稳定。 | ||
搜索关键词: | 紫外 固化 设备 中的 风机 控制 方法 | ||
【主权项】:
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