[发明专利]提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法及装置在审

专利信息
申请号: 202010581202.5 申请日: 2020-06-23
公开(公告)号: CN111721750A 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 陈厚凯;张聿全;闵长俊;袁小聪 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: G01N21/65 分类号: G01N21/65;G01Q60/38;G01Q70/08;G01Q70/14
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 张金福
地址: 518060 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法及装置,所述装置包括:原子力显微镜探针、样品扫描台、物镜系统、分光器件、光束调整系统、激发光源、拉曼光谱系统、原子力显微镜控制系统;所述方法包括:S1:将直接照射探针针尖的光束进行入射方向的调整,使光束先照射到探针的悬臂梁表面,经过悬臂梁反射后光束再照射探针尖端;S2:对光束发散角进行控制,使探针在接触到基底表面时光束聚焦到探针尖端;S3:调整聚焦光斑的偏振态,使沿探针轴向方向的偏振分量最大。本发明利用原子力显微镜探针悬臂梁作为反射镜,动态调整激发光聚焦位置,可实现在非接触工作模式下提高针尖局域增强拉曼散射信号。
搜索关键词: 提高 原子 显微镜 接触 模式 ters 信号 方法 装置
【主权项】:
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