[发明专利]提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法及装置在审
申请号: | 202010581202.5 | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN111721750A | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 陈厚凯;张聿全;闵长俊;袁小聪 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | G01N21/65 | 分类号: | G01N21/65;G01Q60/38;G01Q70/08;G01Q70/14 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 张金福 |
地址: | 518060 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种提高原子力显微镜非接触模式TERS信号的方法及装置,所述装置包括:原子力显微镜探针、样品扫描台、物镜系统、分光器件、光束调整系统、激发光源、拉曼光谱系统、原子力显微镜控制系统;所述方法包括:S1:将直接照射探针针尖的光束进行入射方向的调整,使光束先照射到探针的悬臂梁表面,经过悬臂梁反射后光束再照射探针尖端;S2:对光束发散角进行控制,使探针在接触到基底表面时光束聚焦到探针尖端;S3:调整聚焦光斑的偏振态,使沿探针轴向方向的偏振分量最大。本发明利用原子力显微镜探针悬臂梁作为反射镜,动态调整激发光聚焦位置,可实现在非接触工作模式下提高针尖局域增强拉曼散射信号。 | ||
搜索关键词: | 提高 原子 显微镜 接触 模式 ters 信号 方法 装置 | ||
【主权项】:
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