[发明专利]照明装置及曝光系统在审
| 申请号： | 202010585503.5 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111781802A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 张柯;张雷;李伟成 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种照明装置，包括：至少一个第一类光源，配置为产生波长在第一范围的第一类光束；至少一个准直透镜，配置为对所述第一类光束进行准直；第一类匀光组件，配置为对所述第一类光束进行匀光处理；第二类光源，配置为产生波长在第二范围的第二类光束；第二类匀光组件，配置为对所述第二类光束进行匀光处理；光混合组件，配置为将经过匀光处理的第一类光束和第二类光束进行混合处理；光偏转件，配置为将经过混合处理的第一类光束和第二类光束按预设角度进行偏转。本发明的有益效果是将两类光源产生的光束进行混合，在保证光能充足的情况下改善阻焊油墨的感光反应。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 装置 曝光 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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