[发明专利]确定光学式膜厚测定装置的最佳工作方案的方法、装置及系统在审
| 申请号： | 202010586262.6 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN112223104A | 公开（公告）日： | 2021-01-15 |
| 发明（设计）人： | 渡边夕贵 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B49/12 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种能够在短时间内且自动地确定构成光学式膜厚测定装置的工作方案的最佳方案参数的方法、装置及系统。本方法将多个参数集保存在存储装置内，该多个参数集分别包含构成工作方案的多个方案参数，使用多个参数集和存储在数据服务器内的来自被研磨的基板的反射光的参照光谱的数据来执行伴随着研磨时间的经过的膜厚变化的模拟，将评价膜厚变化的方式的至少一个指标值输入评价计算式，计算对于多个参数集的多个综合评价值，基于多个综合评价值从多个参数集中选择最佳的一个参数集。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 光学 式膜厚 测定 装置 最佳 工作方案 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010586262.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：机器学习方法及移动机器人
- 下一篇：光学膜和偏振片
