[发明专利]一种立式反应炉有效
| 申请号： | 202010588636.8 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111721110B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 黄敏涛 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27B1/12 | 分类号： | F27B1/12;F27D1/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 马骥 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种立式反应炉，包括炉门盖、反应腔室、导向缓冲组件及弹簧容纳腔，反应腔室具备朝上的腔室开口，导向缓冲组件包括导向螺栓和弹性支撑件，导向螺栓与炉门盖相连，弹性支撑件套设于导向螺栓并弹性支撑件与炉门盖及反应腔室均相互抵接，限位部与导向螺栓相互抵接并限制导向螺栓的转动。本申请实施例通过在炉门盖与腔室开口的边沿之间设置弹性支撑件，并在抵接环腔室开口的边沿上设置对应于凸出部的限位部，通过弹性支撑件及限位部与凸出部的抵接配合作用，在保护反应腔室实现缓冲炉门盖对反应腔室的冲击力的同时避免了导向螺栓容易因为炉门盖反复开合而转动脱落的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 反应炉 | ||
【主权项】：
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