[发明专利]成膜方法及成膜装置在审
| 申请号： | 202010589897.1 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN112144032A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 北见尚久;山本哲也 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社;高知县公立大学法人 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/32;C23C14/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 任玉敏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够根据用途在适当的条件下进行氧化锌膜的成膜的成膜方法及成膜装置。成膜方法具备设定氧化锌膜的晶界散射贡献率与成膜时的中性氧的比率之间的相关性发生变化的拐点的工序(拐点设定工序S10)。此时，在中性氧的比率比拐点高的区域和中性氧的比率比拐点低的区域，相对于中性氧的比率的变化的规定特性的变化形态不同。成膜方法具备确定是采用中性氧的比率比拐点高的区域的条件还是采用中性氧的比率比拐点低的区域的条件的工序(条件设定工序S20)。由此，能够设定在中性氧的比率比拐点高的条件及中性氧的比率比拐点低的条件中更适合氧化锌膜的用途的条件。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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