[发明专利]一种大功率微波等离子体粉体处理器在审
| 申请号： | 202010590323.6 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111715162A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 全峰;蒋礼;刘望宏 | 申请（专利权）人： | 深圳优普莱等离子体技术有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/12 | 分类号： | B01J19/12;B01J8/24;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 陈国军 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大功率微波等离子体粉体处理器，包括矩形波导，所述矩形波导上设置有穿过矩形波导到微波谐振腔的微波天线，所述微波谐振腔包括圆柱腔体，以及设置在圆柱腔体内的石英钟罩，所述石英钟罩将圆柱腔体分隔成上腔体和下腔体，所述下腔体的下端连接有排气腔，且下腔体与排气腔之间为密封连接，所述圆柱腔体的内径从上到下逐渐增大，所述下腔体的内部设置有用于增添放置处理粉体的流化床杯。本发明通过微波天线将矩形波导中的TE模转化为圆柱腔体中的TM模，加大了反应室容积，解决了流化床杯尺寸受限制的问题，从而能够比现有的石英管式流化床式装置处理更多的粉体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大功率 微波 等离子体 处理器 | ||
【主权项】：
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