[发明专利]连熔法生产大尺寸石英玻璃板工艺、石英玻璃板及其应用有效
| 申请号： | 202010591121.3 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111792820B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 陈士斌;刘明伟;钱卫刚;周明强;徐同根;许志仁;何茂乾;陈加田 | 申请（专利权）人： | 江苏太平洋石英股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;H01L21/673;G02B3/00;G02B7/00;C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京华专卓海知识产权代理事务所(普通合伙) 11664 | 代理人： | 王一 |
| 地址： | 222342 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了连熔法生产大尺寸石英玻璃板工艺、石英玻璃板及其应用，连熔法生产大尺寸石英玻璃板工艺包括如下步骤：连熔炉预热；添加原材料；石英玻璃板成型；拉制石英玻璃板；石英玻璃板尺寸调节；石英玻璃板切割。本发明的生产工艺突破了现有的二次加工成型，开拓性的可连续生产出大尺寸石英玻璃板，一次成型，大大提高了生产效率，节约了生产成本，质量高。可应用于半导体加工、光学、高温制造等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 连熔法 生产 尺寸 石英 玻璃板 工艺 及其 应用 | ||
【主权项】：
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