[发明专利]加热处理装置以及加热处理方法在审
| 申请号： | 202010592474.5 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN112185847A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 高木慎介;久我恭弘;大塚幸信;相良慎一 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种加热处理装置以及加热处理方法。抑制在对基板进行加热时产生的升华物所带来的不良影响。一种加热处理装置，其在处理容器内对形成有涂布膜的基板进行加热，该加热处理装置具有：载置部，其设于所述处理容器内，用于载置所述基板；加热部，其用于对载置于所述载置部的基板进行加热；抽吸管，其与形成于所述载置部的抽吸口相通，贯穿所述载置部并向正下方延伸；以及收集容器，其设于所述抽吸管和抽吸机构之间的抽吸路径，所述收集容器构成为，设于俯视时所述载置部的正下方，与所述抽吸管连接，用于收集所述处理容器内的升华物。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 处理 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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