[发明专利]高计数率多气隙电阻板室探测器的制备方法有效
| 申请号： | 202010594354.9 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111596340B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 周意;王旭;孙勇杰;尚伦霖;张广安;鲁志斌;刘建北;张志永;邵明 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01T1/26 | 分类号： | G01T1/26;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供一种高计数率多气隙电阻板室探测器的制备方法，包括：步骤S1：对玻璃样品进行预处理；步骤S2：在预处理后的玻璃样品表面及孔内制备DLC阻性薄膜，完成DLC阻性玻璃的制备；以及步骤S3：基于DLC阻性玻璃制备多气隙电阻板室结构，进而完成高计数率多气隙电阻板室探测器的制备。所述制备方法制备的多气隙电阻板室探测器可以使电荷不再穿过玻璃进行中和，而是沿等效电阻相对较低的DLC表面以较快的速度进行中和，使得探测器计数率能力得到有效提高。 | ||
| 搜索关键词： | 计数 率多气隙 电阻 探测器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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