[发明专利]一种硅基底薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 202010596546.3 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111892013A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 郑泉水;柏帆 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 满群 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅基底薄膜的制备方法，在硅基底上涂布光刻胶，在涂胶面预先开槽，控制槽的深度和宽度，并利用酸溶液进行平整化处理，待硅基底毛边处理干净之后去胶、清洗、烘干、镀膜，再用薄金刚石刀片，沿着预开槽的中心线将硅基底完全切开，获得完整的硅基底薄膜，边缘无破损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基底 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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