[发明专利]一种共光路相移数字全息显微测量装置有效
| 申请号： | 202010597987.5 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111796501B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 刘丙才;冯方;田爱玲;刘卫国;王红军;朱学亮;岳鑫;潘永强 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G03H1/04 | 分类号： | G03H1/04;G03H1/12;G01B11/24;G01B9/021 |
| 代理公司： | 西安利泽明知识产权代理有限公司 61222 | 代理人： | 林兵 |
| 地址： | 710000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种共光路相移数字全息显微测量装置，包括沿光路方向依次固定设置的光纤激光器(1)、光纤准直器(2)、可调衰减器(3)、显微物镜(5)、平面平晶I(6)、平面平晶II(7)、压电陶瓷驱动器(8)、会聚透镜(9)、滤波器(10)和成像探测器件(11)，所述成像探测器(11)通过电缆与计算机(12)连接。本发明利用紧邻的两平面平晶，实现参考光和测试光间的相位差变化，获得被测目标的相移数字全息显微成像。该装置不但消除了非共光路中系统噪声的影响，而且易于实现高精度相移全息，有效地提高了数字全息的相位重建精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 共光路 相移 数字 全息 显微 测量 装置 | ||
【主权项】：
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