[发明专利]一种插片机分区域控制系统及控制方法有效
| 申请号： | 202010598268.5 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111694334B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 王海鸥;刘杰;胡俊强;周勇 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;C23C16/52;C23C16/50;H01L21/67 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 廖元宝 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种插片机分区域控制系统，包括花篮流转工位控制单元、硅片流转工位控制单元、机器人工位控制单元和横移工位控制单元；其中一个工位的控制单元为主控制单元，主控制单元的供电电源的输入端用于连接外部电源，主控制单元的供电电源的输出端则分别与其它各工位控制单元的电源相连；各工位控制单元之间相互通讯连接以形成环网。本发明还公开了一种控制方法，包括：在初始状态下，一键启动各个工位控制单元；在某个工位控制单元出现故障时，故障的工位控制单元跳出自动，进入故障状态，其他工位控制单元则不受影响；故障处理完成后，重新启动此工位控制单元，进入自动模式。本发明具有分区独立控制、测试以及运行效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 插片机分 区域 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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