[发明专利]温度传感器及其制备方法及应用温度传感器的感测装置在审
| 申请号： | 202010598521.7 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN111964800A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 吴进;韦耀铭;吴子轩 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16;G01K15/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 戴涛 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及温度传感器技术领域，更具体地，涉及温度传感器及其制备方法及应用温度传感器的感测装置，包括有衬底、热敏材料、电极以及微加热器，所述电极设于衬底上，所述微加热器设于衬底下，所述热敏材料设于电极上。提供温度传感器的制备方法，制作出具有自校准和表征功能、实现原位自加热的温度传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 温度传感器 及其 制备 方法 应用 装置 | ||
【主权项】：
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