[发明专利]一种高效镀超硬膜的方法在审
| 申请号： | 202010606524.0 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111676452A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 刘双良;左洪波;雷志钵;张学军;刘贺 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/35;C23C14/56;C03C17/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高效镀超硬膜的方法。采用连续式磁控溅射镀膜装置，设备主要包括进料仓、过渡仓、镀膜仓和出料仓，仓与仓之间通过轨道相连，进行载台的传送，实现一站式镀膜；具体工艺路线为：将玻璃基体在超声波中清洗后烘干，按顺序排布在载台上；抽真空并加热；载台在机械传动的作用下，依次通过进料仓、过渡仓，进入镀膜仓；根据所镀膜层材质与厚度要求，调节电流、电压值与镀膜时间，开始镀膜；镀膜完成后，传动系统将载台经过渡仓送进出料仓，完成镀膜过程。本发明可以根据膜层的材质要求，灵活更换靶材，实现多层、不同材质的一站式镀膜；可以根据所需镀膜的层数，增加或减少腔体数量，操作更简便；可以减少中间环节与等待时间，提高生产效率，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 镀超硬膜 方法 | ||
【主权项】：
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