[发明专利]高粘度材料的涂膜装置和涂膜方法

摘要

本公开提供了一种适用于研发和量产的高粘度材料的涂膜装置，其包括供料模块、预涂模块、涂覆模块、清洗模块和控制模块，供料模块包括分配刀头、刀头压力监控器、储液罐、供液泵、泵压力监控器、吸料阀、出料阀、连接阀和控制阀，预涂模块包括柔性基材、支撑部和收卷滚轮和放卷滚轮，若收卷滚轮转动，柔性基材自放卷滚轮经支撑部向收卷滚轮移动，涂覆模块包括基板承载平台和基板，清洗模块包括刀头清洗槽和刀头清洗夹，控制模块被配置为基于泵压力监控器的压力值、刀头压力监控器的压力值、泵压力监控器的压力值的波动和刀头压力监控器的压力值的波动控制分配刀头的移动和移动速率以及控制吸料阀、出料阀、连接阀和控制阀的开闭。