[发明专利]等离子约束装置及等离子体设备在审
| 申请号： | 202010607931.3 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111653468A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 吴堃;杨猛 | 申请（专利权）人： | 上海邦芯半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201500 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子约束装置，包括相独立的导电元件和接地元件，所述导电元件位于所述接地元件上方，并与所述接地元件单端电连接。本发明导电元件和接地元件的单端电连接，降低了电位，使得等离子体与之碰撞后的残余电荷更容易被接地导走，增加了约束效果；导电元件和接地元件分离，增加了系统的稳定性和维护的方便。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 约束 装置 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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