[发明专利]一种测量微尺度金属样品电阻率的装置和方法在审
| 申请号： | 202010610197.6 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111856138A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 傅思伟;叶芳;李田;齐文艳;张迅达;陈韶瑜;周连升;管森森;甘智勇;于金山;文黎;温力;李庆钊 | 申请（专利权）人： | 国网天津市电力公司电力科学研究院;国网天津市电力公司;国家电网有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01R3/00 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 王来佳 |
| 地址： | 300384 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量微尺度金属样品电阻率的装置和方法，首先在基板上制作测试电极及测温电极，将样品置于基板之上，与测试电极连接，测试电极连接四线法电阻测量电路；将基板置于加热台上，基板及加热台均放入一真空腔室，通过调整温度，绘制电阻率随温度的变化关系曲线。本发明可对各种形状、更小尺寸的样品测量电阻率，根据样品的尺寸和形状选择不同的沉积电极的工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 尺度 金属 样品 电阻率 装置 方法 | ||
【主权项】：
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