[发明专利]一种太阳能电池及其制备方法在审
申请号: | 202010610350.5 | 申请日: | 2020-06-29 |
公开(公告)号: | CN111668345A | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 熊诗龙;金井升 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科绿能(上海)管理有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216 |
代理公司: | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人: | 钱娴静 |
地址: | 314416 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请涉及光伏领域,提供一种太阳能电池及其制备方法,其中,方法包括以下步骤:(1)对制绒后的硅片进行正面硼扩散,形成硼扩散层及硼硅玻璃;(2)对硅片进行背面刻蚀后进行氧化,形成隧穿氧化层;(3)在隧穿氧化层表面沉积非晶硅层;(4)去除硅片正面绕镀的非晶硅层;(5)对非晶硅层进行磷掺杂,形成掺杂型非晶硅层及磷硅玻璃层;(6)去除硼硅玻璃层和磷硅玻璃层。本申请的太阳能电池及其制备方法,能够有效降低去绕镀处理产生的过刻现象。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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