[发明专利]基于异质驱动单元的微型热力阵列及其制备方法在审
| 申请号： | 202010610487.0 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111792618A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 王兴华;覃江毅;曹璐;庹洲慧;范广腾;冉德超 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军军事科学院国防科技创新研究院 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/04;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京丰浩知识产权代理事务所(普通合伙) 11781 | 代理人： | 王纯富 |
| 地址： | 100071 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于异质驱动单元的微型热力阵列及其制备方法，所示基于异质驱动单元的微型热力阵列，包括：衬底，所述衬底上设有呈阵列状布置的多个微驱动器，所述微驱动器包括设于衬底表面上的薄膜电阻加热器以及导热硅柱，所述薄膜电阻加热器的表面设有聚合物驱动结构层，且所述导热硅柱内嵌于聚合物驱动结构层的内部。本发明能够改善内部热场分布均匀性和传输速度，有效提升热驱动的效率，能够显著的改善聚合物内部的温度场分布的均匀性，充分发挥聚合物的热膨胀系数大的优点，最大效率的提升驱动效率，提升驱动结构末端响应位移，能够实现对典型的微机电系统结构(如薄板等)加工误差或面外变形的精准调控/矫正。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 驱动 单元 微型 热力 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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