[发明专利]一种5G陶瓷滤波器膜层材料及其制备方法在审
| 申请号： | 202010610496.X | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111607772A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 廖斌;欧阳潇;欧阳晓平;罗军;陈琳;庞盼;张旭;吴先映;英敏菊 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/18;C23C14/02;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 齐宝玲 |
| 地址： | 100089 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种5G陶瓷滤波器膜层材料及其制备方法，属于陶瓷材料制备技术领域。所述膜层材料为四层复合结构，基体为陶瓷，中间过渡层依次为合金层和连接层，表层为银层；其中，合金层为以合金金属为阴极，利用多弧靶对陶瓷基体进行磁控溅射沉积而得；连接层为以Mo、Cu或Cr为阴极，利用圆柱多弧靶在合金层上沉积而得；表面银层以银为阴极，利用多弧靶和圆柱靶在连接层上进行银金属沉积而得。本发明选用磁控溅射和多弧离子镀组合制备膜层材料，以解决金属与陶瓷结合强度低、处理成本高及化学镀/电镀环境污染的问题，不仅制备工艺简便，而且所制得的5G陶瓷滤波器膜层材料具有结构致密、无明显缺陷及插入损耗低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷滤波器 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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