[发明专利]一种多管CVD系统

摘要

本发明公开了一种多管CVD系统，本发明通过设置的顶部两组开启式管式炉体和中部六组封闭式管式炉体的配合使用，开启式管式炉体和中部六组封闭式管式炉体之间通过导流管道连接，通过若干个第一截止阀、第二截止阀和第三截止阀控制各管式炉独立的真空抽气和通入的保护气体使用情况，配合机械真空泵进行真空抽气操作，可以达到开启式管式炉体和封闭式管式炉体独立使用的效果，同时可以进行多组对比实验；通过将两组开启式管式炉体和六组封闭式管式炉体集成于一体，以实现单独使用各个设备，避免造成实验室空间的挤占，使用多台设备对比可能造成的麻烦；而且大大节约了实验室的空间，很好的解决了实验室空间紧张的问题。