[发明专利]MOSFET器件的全局工艺角模型的建模方法在审
申请号: | 202010611393.5 | 申请日: | 2020-06-29 |
公开(公告)号: | CN111783296A | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 顾经纶 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G06F30/20 | 分类号: | G06F30/20;G06F30/17 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 曹廷廷 |
地址: | 201315*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: |
本发明提供了一种MOSFET器件的全局工艺角模型的建模方法,包括:设定全局工艺角模型的参数公式如下: |
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搜索关键词: | mosfet 器件 全局 工艺 模型 建模 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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