[发明专利]一种高温原位紫外探测系统在审

专利信息
申请号: 202010611852.X 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN111725196A 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 汪炼成;彭程;黄强 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: H01L25/16 分类号: H01L25/16;H01L23/367;H01L23/373;H01L29/16;H01L31/0304;G01J1/42;G01J1/44
代理公司: 长沙永星专利商标事务所(普通合伙) 43001 代理人: 周咏;林毓俊
地址: 410083 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明这种高温原位紫外探测系统,包括有散热模块和原位日盲紫外探测器;散热模块会组成一个腔体,原位日盲紫外探测器包括有SiCMOSFET芯片、续流二极管FWD芯片、紫外探测器芯片、多块DBC板、集电极、发射极、栅极以及相对应的端子;其中SiCMOSFET芯片、续流二极管FWD芯片安装于散热模块的腔体内部,SiCMOSFET芯片、续流二极管FWD芯片通过焊接的方式固定于DBC板上,DBC板与散热模块的焊料层连接;紫外探测器芯片位于腔体外部,紫外探测器芯片通过焊接的方式固定于DBC板上,DBC板固定散热模块的顶部;SiCMOSFET芯片、续流二极管FWD芯片、紫外探测器芯片、DBC板、集电极、发射极子、栅极之间通过电路进行互连。本发明采用AlGaN基紫外探测器芯片最高使用温度可达到300℃。
搜索关键词: 一种 高温 原位 紫外 探测 系统
【主权项】:
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