[发明专利]薄膜厚度湿度检测系统在审
| 申请号： | 202010617603.1 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111721240A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 徐程松;肖伟;贺伟;张杨;曾来荣 | 申请（专利权）人： | 绵阳人众仁科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02;G01N22/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621000 四川省绵阳市涪城区*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜厚度湿度检测系统，该薄膜厚度湿度检测系统利用同轴电路元原件代替波导器件，解决同轴信号与谐振腔模式的转换；具体包括如下模块：采集模块、存储模块、运算模块；采集模块包括开关部、检波器、隔离器及转换匹配器；转换匹配器用于实现同轴转波导及波导转同轴的操作；还包括用于承载上述部件的机架装置。该系统具有的优点如下：1、相较于传统的测量薄膜湿度厚度的系统更加环保。2、可以同时对薄膜的湿度和厚度进行测量。3、相较于利用扫频进行测量计算得出薄膜湿度厚度而言成本更低，测量速度快。4、具有良好的测试灵敏度、稳定性、可靠性、可维护性、环境适应性及较高的抗干扰能力，可以满足工业生产的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 厚度 湿度 检测 系统 | ||
【主权项】：
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