[发明专利]掩埋型半导体光学装置有效

专利信息
申请号: 202010618502.6 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN112436376B 公开(公告)日: 2023-07-18
发明(设计)人: 早川茂则;坂本裕则;山内俊也;中开义博 申请(专利权)人: 朗美通日本株式会社
主分类号: H01S5/026 分类号: H01S5/026;H01S5/12;H01S5/22
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 许睿峤
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种掩埋型半导体光学装置,包括:半导体基板;台面条带部分,包括在半导体基板上的多量子阱层;掩埋层,由第一部分和第二部分组成,第一部分覆盖台面条带部分的一侧,第二部分覆盖所述台面条带部分的另一侧,并且第一部分和第二部分覆盖半导体基板的表面;和电极,其被配置为使电流流过台面条带部分,所述掩埋层从半导体基板的表面开始包括第一子层、第二子层和第三子层,第一子层、第二子层和第三子层均由半绝缘InP组成,第一子层和第二子层形成成对结构,第二子层从半导体基板的表面位于多量子阱层的上方,并且第二子层由选自InGaAs、InAlAs、InGaAlAs、InGaAsP和InAlAsP的一层或多层组成。
搜索关键词: 掩埋 半导体 光学 装置
【主权项】:
暂无信息
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