[发明专利]沾黏吸附式异物去除装置有效
| 申请号： | 202010619986.6 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN113877891B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟伟 | 申请（专利权）人： | 帆宣系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B5/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 姜璐璐;赵燕力 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种沾黏吸附式异物去除装置，其主要是在基座上设置沾黏机构与吸附机构，沾黏机构中具有可自由升降活动且斜向设置的沾黏棒，吸附机构能外接抽气设备，且吸附机构的吸嘴位于沾黏棒侧边，且吸嘴的吸附口朝向沾黏棒底端的沾黏部，当沾黏吸附式异物去除装置应用于光罩等物件表面异物去除作业时，能以沾黏棒的沾黏部黏取物件表面的目标异物，其中利用斜向设置且能自由升降活动的沾黏棒碰触黏取目标异物时，利用沾黏棒反向上升的动作而减少作用于物件的作用力，避免物件受损，另外沾黏棒黏取目标异物脱离物件表面后，利用吸附机构直接吸取移除沾黏棒黏取的目标异物，即能再执行下一个目标异物去除作业，提升其作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 吸附 异物 去除 装置 | ||
【主权项】：
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