[发明专利]一种用于隔绝热量的热屏障装置及熔炼炉在审
| 申请号： | 202010621665.X | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111893557A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 薛忠营;刘赟;魏星;栗展;魏涛;李名浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶圆涂胶系统，包括晶圆涂胶装置、加热装置和控制装置；晶圆涂胶装置用于对晶圆进行涂胶；加热装置包括加热板，加热板表面承载涂胶后晶圆，加热板划分成若干个加热区域，每个加热区域对应设有一个监测组件，监测组件包括温度监测件和警报器；控制装置包括温度监测模块、温度判断模块和警报控制模块；温度获取模块用于获取温度监测件监测的实时温度；温度判断模块用于判断温度监测件的温度比是否大于预设温度比；警报控制模块用于当判断温度监测件的温度比大于预设温度比时，控制警报器启动；本发明能够保证加热板中各个区域的温度均匀性，避免温度不均匀影响到晶圆的烘烤质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 隔绝 热量 屏障 装置 熔炼炉 | ||
【主权项】：
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