[发明专利]一种背板有效
申请号: | 202010622914.7 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111850464B | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 张丁成;王水俊;李伟丽;范波涛;李文星;孙飞;辛小刚 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
代理公司: | 广东君龙律师事务所 44470 | 代理人: | 丁建春 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请提供一种背板,所述背板用于压合掩膜板组件,所述掩膜板组件包括层叠设置的玻璃基板以及掩膜板,所述背板用于覆盖于所述玻璃基板的表面以按压所述玻璃基板,使得所述玻璃基板以及掩膜板贴合;所述背板包括底板和凸起,所述凸起位于所述底板面向所述玻璃基板的一侧,所述凸起呈阵列排布,其中,所述凸起在所述掩膜板平面上的正投影完全落入所述掩膜板的范围内,且位于所述掩膜板边缘位置处的所述凸起的投影与所述掩模板边缘位置的距离大于或等于预设距离。以此改善掩膜板的框架内边缘周围对应的玻璃基板的形变,提高玻璃基板与掩膜板的贴合效果,进而提高产品良率。 | ||
搜索关键词: | 一种 背板 | ||
【主权项】:
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