[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202010623053.4 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111711911B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 畠山庸平;林育菁 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 温剑;王迎 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中的微型麦克风防尘装置包括支撑载体和设置在支撑载体一侧的防尘膜，支撑载体包括主体部、设置在主体部上的至少两个支承部、通孔、位于支承部靠近通孔一侧的重叠部；防尘膜的边缘固定在支承部上，防尘膜的内部悬设在通孔和重叠部的一侧。利用上述发明能够提高微型麦克风防尘装置的整体结构强度，并有效抑制防尘膜发生屈曲褶皱。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 麦克风 防尘 装置 mems | ||
【主权项】：
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