[发明专利]微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风在审
| 申请号： | 202010623159.4 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111711912A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 林育菁;池上尚克;游振江 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R19/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 温剑;袁文婷 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微型麦克风防尘装置及MEMS麦克风，其中，包括载体以及设置在所述载体上的防尘网；其中，所述载体的形成有通孔，俯视观察时所述防尘网覆盖所述通孔；并且，所述载体由硅或者二氧化硅材料制成。利用上述发明能够有效的解决现有的微型麦克风防尘装置上的防尘网在高温环境下发生屈曲的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 麦克风 防尘 装置 mems | ||
【主权项】：
暂无信息
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