[发明专利]高电子迁移率晶体管及高压半导体装置在审
申请号: | 202010623811.2 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN113871476A | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 黄嘉庆;陈志谚;吴俊仪;萧智仁 | 申请(专利权)人: | 世界先进积体电路股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/40;H01L29/45;H01L29/47;H01L29/08 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 刘莉 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种高电子迁移率晶体管,包括基底、三五族沟道层、三五族阻挡层、三五族盖层、源极电极、第一漏极电极、第二漏极电极、以及连接部。其中,三五族沟道层、三五族阻挡层、及三五族盖层依序设置于基底上。源极电极设置于三五族盖层的一侧,第一漏极电极及第二漏极电极设置于三五族盖层的另一侧。第一漏极电极的底面分离于第二漏极电极的底面,且第一漏极电极的组成不同于第二漏极电极的组成。连接部电连接至第一漏极电极以及第二漏极电极。 | ||
搜索关键词: | 电子 迁移率 晶体管 高压 半导体 装置 | ||
【主权项】:
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