[发明专利]高电子迁移率晶体管及高压半导体装置在审

专利信息
申请号: 202010623811.2 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN113871476A 公开(公告)日: 2021-12-31
发明(设计)人: 黄嘉庆;陈志谚;吴俊仪;萧智仁 申请(专利权)人: 世界先进积体电路股份有限公司
主分类号: H01L29/778 分类号: H01L29/778;H01L29/40;H01L29/45;H01L29/47;H01L29/08
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 刘莉
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 一种高电子迁移率晶体管,包括基底、三五族沟道层、三五族阻挡层、三五族盖层、源极电极、第一漏极电极、第二漏极电极、以及连接部。其中,三五族沟道层、三五族阻挡层、及三五族盖层依序设置于基底上。源极电极设置于三五族盖层的一侧,第一漏极电极及第二漏极电极设置于三五族盖层的另一侧。第一漏极电极的底面分离于第二漏极电极的底面,且第一漏极电极的组成不同于第二漏极电极的组成。连接部电连接至第一漏极电极以及第二漏极电极。
搜索关键词: 电子 迁移率 晶体管 高压 半导体 装置
【主权项】:
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