[发明专利]一种基于量子隧道效应的新型压力传感器在审
| 申请号： | 202010623956.2 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111693202A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 郭文璟;夏志刚 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于量子隧道效应的新型压力传感器，参考样品固定在感压膜片的中心位置，在沿感压膜片中轴线的方向上，安装有探针，探针用于检测参考样品和针尖之间的隧道电流，由信号控制软件采集隧道电流信号。当有压力作用在感压膜片上时，参考样品产生微小位移，隧道电流随之改变，参考样品位移量即为感压膜片中心形变量，膜片中心形变量与压力变化呈线性关系。根据隧道电流的变化量，可测算感压膜片中心形变量，从而获得压力值。本发明的传感器所测形变量能够达到亚纳米级，对于高精度水下压力传感器的研究具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 量子 隧道 效应 新型 压力传感器 | ||
【主权项】：
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