[发明专利]抛光垫修整装置和抛光垫修整方法在审
| 申请号： | 202010626055.9 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN111775044A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 郑凯铭 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B53/12 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 430205 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抛光垫修整装置和抛光垫修整方法，该抛光垫修整装置包括：抛光垫修整器，包括转动轴、以及安装于转动轴上的修整盘，修整盘具有用于对抛光垫的表面进行修整的修整面、以及连通到修整面的开孔；光形貌检测器，具有结合于转动轴中且连通到开孔的光路通道，用于在修整盘修整抛光垫的表面时同时检测抛光垫的表面形貎，从而，在抛光垫修整过程中，能够实时监测抛光垫的表面磨损情况，进而能够基于监测到的抛光垫表面磨损情况确定抛光垫的真实寿命，以提高抛光垫修整效率，从而获得最大抛光垫寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 修整 装置 方法 | ||
【主权项】：
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