[发明专利]压印模具制造方法有效
| 申请号： | 202010631521.2 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111752090B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 黄胜铭;林圣凱;陈志强;张晖谷;鍾佳欣;王潍淇;王铭瑞;吕仁贵;罗再昇;沈煌凱 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市立康律师事务所 11805 | 代理人： | 梁挥;孟超 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印模具制造方法。压印模具制造方法，包含：设置模具图案层于基材上；于模具图案层上设置第一硬掩膜层，第一硬掩膜层具有一个或多个第一镂空区域；在模具图案层形成第一模具图案，第一模具图案的范围与第一镂空区域于模具图案层的垂直投影范围完全重迭；去除第一硬掩膜层；于模具图案层上设置第二硬掩膜层，第二硬掩膜层具有一个或多个第二镂空区域，第二镂空区域于模具图案层的垂直投影范围与第一模具图案相邻接；在模具图案层形成第二模具图案，第二模具图案的范围与第二镂空区域于模具图案层的垂直投影范围完全重迭；去除第二硬掩膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 模具 制造 方法 | ||
【主权项】：
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