[发明专利]一种硅晶圆吸附移动组件

摘要

本发明公开了一种硅晶圆吸附移动组件，包括固定组件、移动组件和活动道组件，所述固定组件包括摆动臂、托板电机、转动托盘和吸盘，所述摆动臂背向托板电机的一端套设在扳动电机的输出轴上，所述移动组件包括扳动电机、活动板、伸缩杆、滑动托板、移动电机和槽轮，所述扳动电机中部的环状结构上开有通孔，所述扳动电机通过螺丝穿过其中部的环状结构上的通孔进入开口边螺纹孔内部与活动板固定，所述扳动电机下侧位于移动组件中的中开口内部，所述活动板通过螺丝穿过活动沉孔进入伸缩杆伸出轴上端的螺纹孔内部与伸缩杆连接，所述伸缩杆位于杆容纳口内部。该硅晶圆吸附移动组件，可较为稳定的输送硅晶圆，适合普遍推广使用。