[发明专利]蒸镀加热源装置及其制作方法、蒸镀装置在审
| 申请号： | 202010633126.8 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN111647854A | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 伍丰伟 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 高杨丽 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀加热源装置及其制作方法、蒸镀装置，包括：底部支撑装置、坩埚、热电偶、坩埚盖及所述底部支撑装置上设置有反射涂层，用于将所述坩埚底部热量反射至所述坩埚的四周。本申请提供的一种蒸镀加热源装置及其制作方法、蒸镀装置，可以避免热电偶被挤压、损坏变形，维持蒸镀设备较高的设备稼动率，提高了蒸镀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀加 热源 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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