[发明专利]一种湿度传感器制备方法在审
| 申请号： | 202010633567.8 | 申请日： | 2020-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN111847376A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 沈若曦 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;张磊 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种湿度传感器制备方法，包括以下步骤：S01：提供已形成电极的电容结构芯片和氧化石墨烯分散液；S02：将所述氧化石墨烯分散液沉积到所述电容结构上；S03：速冻，使所述氧化石墨烯分散液凝固成为固体；S04：减压，使所述氧化石墨烯分散液固体中的溶剂升华，在所述电极之间形成三维海绵状的氧化石墨烯介质薄膜。本发明能够有效增大氧化石墨烯薄膜与水分子的接触面积，大幅提高氧化石墨烯薄膜对水分子的吸附能力及吸收效果，提升氧化石墨烯电容式湿度传感器的灵敏度，从而显著提高氧化石墨烯湿度传感器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿度 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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