[发明专利]用于与芯片集成的微泵的批量化制作方法和制作设备有效
| 申请号： | 202010635318.2 | 申请日： | 2020-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN111810387B | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 弥胜利;杜志昌 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳国际研究生院 |
| 主分类号： | F04B43/06 | 分类号： | F04B43/06;F04B53/10;F04B53/22 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于与芯片集成的微泵的批量化制作方法和制作设备，实现芯片集成微泵的一体化制作、大批量加工，一次制作出阵列分布的多个微泵单元，每个微泵单元包含两个单向阀、一个微泵腔室、一个膜结构以及一个微泵驱动腔室；剪裁下来的单个微泵单元可以以相对简单的方式集成在流道中，用于流体驱动。本发明能够实现有阀微泵的一体化浇筑，实现微泵大批量、标准化加工，简化微泵在微流控芯片上的集成难度，满足高通量流体驱动的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 芯片 集成 批量 制作方法 制作 设备 | ||
【主权项】：
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