[发明专利]显示模组的制作方法及显示屏有效
申请号: | 202010635705.6 | 申请日: | 2020-07-03 |
公开(公告)号: | CN111883633B | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 刘召军;吴国才;莫炜静 | 申请(专利权)人: | 深圳市思坦科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/50 | 分类号: | H01L33/50;H01L27/15 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 潘登 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种显示模组的制作方法,包括:对半导体外延片进行预处理以形成具备蓝光LED阵列的半导体器件;在所述半导体器件的衬底表面形成第一透明层;刻蚀所述第一透明层以形成暴露所述衬底的第一开口;在所述第一开口暴露的衬底表面以及所述第一透明层表面形成第一量子点层;通过等离子体刻蚀方式刻蚀掉所述第一开口外部的第一量子点层,以保留所述第一开口内部的第一量子点层;形成滤除蓝光的DBR膜层。本发明实施例通过使用等离子体刻蚀方式,使得第一量子点的打印能够实现亚微米尺寸甚至纳米尺寸,提高了LED显示屏制作方法中量子点的打印精度。 | ||
搜索关键词: | 显示 模组 制作方法 显示屏 | ||
【主权项】:
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