[发明专利]半导体结构和用于形成半导体结构的方法在审
| 申请号： | 202010640008.X | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN112687659A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 萧锦涛;庄正吉;吴佳典;曾健庭;彭士玮;林威呈 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/528 | 分类号： | H01L23/528;H01L23/48;H01L21/768 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明描述了具有功率分配网络的半导体结构，功率分配网络包括第一导线和第二导线。衬底包括第一表面，第一表面与功率分配网络接触。多个后侧通孔位于衬底中并且电耦合至第一导线。通孔轨道形成在衬底的与第一表面相对的第二表面上。第一层间电介质位于通孔轨道上和衬底上。第二层间电介质位于第一层间电介质上。第三层间电介质位于第二层间电介质上。第一互连层和顶部互连层分别位于第二层间电介质和第三层电介质中。深通孔位于第三层间电介质中并且电耦合至通孔轨道。深通孔还连接至第一互连层和顶部互连层。电源输入/输出层位于第三层间电介质上并且与顶部互连层接触。本发明的实施例还涉及用于形成半导体结构的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 结构 用于 形成 方法 | ||
【主权项】：
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