[发明专利]具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚及其倾倒方法在审
| 申请号： | 202010641659.0 | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN111926392A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 胡佳;张培林;武建军;柴利春;张作文;王志辉 | 申请（专利权）人： | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 037002 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，包括底座，底座顶面一侧的中部设有矩形的立柱；底座的顶面中部设有固定板，固定板的顶面中部设有矩形柱，矩形柱的顶端中部设有支撑块，支撑块的顶面固定设有半球状的卡接座；卡接座的上方设有承载板；承载板内的中部开设有调节腔，调节腔内设有调节组件；承载板的顶面中部水平设有圆形的固定块，固定块的上方设有圆形的耐热棉板，耐热棉板的顶面设有石墨坩埚；本发明便于操作，通过驱动组件和调节组件，解决了不便于根据石墨坩埚的尺寸进行夹持固定的问题；通过升降组件和电推缸，解决了现有放料工作效率较低的问题；通过电推杆解决了现有石墨坩埚内的液体不便于倾倒的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 自动 倾倒 功能 半导体 石墨 坩埚 及其 方法 | ||
【主权项】：
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