[发明专利]一种混合等离子体波导的光电探测器

摘要

本发明公开了一种混合等离子体波导的光电探测器，包括：衬底，所述衬底的上表面铺设有硅波导和第一金属电极，所述硅波导的上表面设有由黑砷磷薄膜和石墨烯薄膜相接触组成的异质结，所述异质结的上表面设有第二金属电极，所述石墨烯薄膜的一部分延伸离开硅波导，并与第一金属电极的上表面接触。待测光沿着硅波导进行长距离传输，在进行传输的过程中，待测光的消逝波会进入到石墨烯薄膜和黑砷磷薄膜所形成的异质结，从而被所述异质结吸收并进行光电转换。通过这样的结构使得整个光电探测器响应灵敏度高，具有高探测效率。本发明用于光电探测器技术领域。