[发明专利]一种彩色电子轰击图像传感器件

摘要

本发明公开了一种彩色电子轰击图像传感器件，包括滤色膜、输入光窗、光电阴极、背照式CMOS图像传感器、多层陶瓷管体和PGA针栅阵列，滤色膜用于实现光信号红、绿、蓝三色分光进而获得三原色光；光电阴极用于实现三原色光的光电转换；背照式CMOS图像传感器作为光电子接收极，并通过金锡或其它焊料烧结的方式固定在多层陶瓷管体内；多层陶瓷管体将CMOS图像传感器多路信号引脚与外部PGA针栅阵列实现互连，并保证传感器件的密封。本发明将真空器件与半导体器件有机结合，可在极低照度下实现高分辨率的彩色夜视成像，同时具有探测光敏面积大、响应速度快、成像分辨率高、全数字化输出和器件体积小等优点。