[发明专利]一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置在审
| 申请号： | 202010648256.9 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN111693349A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 秦元斌;张朋诚;郭朝维;付琴琴;单智伟 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 王晶 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种利用聚焦离子束提取透射电镜样品的装置，包括提取装置主体，提取装置主体底部为圆盘结构，所述的提取装置主体顶部为水平结构，圆盘结构上方的水平结构一侧设置有固定块，另一侧为竖直结构，固定块与提取装置主体之间放置有FIB载网。该装置结合聚焦离子束，可以将样品特定区域提取出来，放置于FIB载网，减薄后用于透射电镜观察。该装置结构小巧，容易加工，使用简单，不需要拆卸聚焦离子束原有样品台旋转底座，在透射电子显微镜样品制备领域具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 聚焦 离子束 提取 透射 样品 装置 | ||
【主权项】：
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