[发明专利]体声波谐振器及其频率调整方法、滤波器、电子设备有效
| 申请号： | 202010649990.7 | 申请日： | 2020-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN111934641B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;杨清瑞;张孟伦 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17;H03H9/56 |
| 代理公司： | 北京金诚同达律师事务所 11651 | 代理人： | 汤雄军 |
| 地址： | 300462 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；和压电层，其中：顶电极、压电层和底电极形成层叠结构；所述谐振器还包括层叠结构上表面的质量负载层，所述质量负载层中包括多个质量负载，所述多个质量负载中的每个质量负载包括纵向支撑部以及水平延伸部，支撑部的下端连接到层叠结构的上表面，所述水平延伸部的一端自支撑部的上端连接到支撑部；且所述水平延伸部与所述层叠结构的上表面间隔开水平延伸，所述水平延伸部的下表面与所述层叠结构的上表面之间形成空隙部，所述水平延伸部的下表面限定所述空隙部的上侧，所述层叠结构的上表面限定所述空隙部的下侧。本发明还涉及一种具有该体声波谐振器的电子设备。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 频率 调整 方法 滤波器 电子设备 | ||
【主权项】：
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