[发明专利]一种同心圆环结构的差动式SiC电容压力传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010650296.7 申请日: 2020-07-08
公开(公告)号: CN111879447A 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 周圣军;万泽洪;徐浩浩 申请(专利权)人: 武汉大学
主分类号: G01L1/14 分类号: G01L1/14;G01L9/12;G01L23/12
代理公司: 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 代理人: 王丹
地址: 430072 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种同心圆环结构的差动式SiC电容压力传感器及制备方法,传感器的下极板包括内下极板和外下极板;内下极板为圆形,外下极板为与内下极板同心的圆环形;上极板包括内上极板、外上极板和连接板;内上极板为位于内下极板正上方、开口朝下的圆形框体;外上极板为位于外下极板正上方、开口朝下的圆环形框体;内上极板与外上极板之间通过连接板连接;下极板与上极板形成同心圆环电容结构。本发明选用同心圆环结构,不仅能够在恶劣环境下稳定工作,而且能够有效提高传感器的灵敏度及线性度。
搜索关键词: 一种 同心 圆环 结构 差动 sic 电容 压力传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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