[发明专利]一种同心圆环结构的差动式SiC电容压力传感器及其制备方法在审
申请号: | 202010650296.7 | 申请日: | 2020-07-08 |
公开(公告)号: | CN111879447A | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 周圣军;万泽洪;徐浩浩 | 申请(专利权)人: | 武汉大学 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01L9/12;G01L23/12 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 王丹 |
地址: | 430072 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种同心圆环结构的差动式SiC电容压力传感器及制备方法,传感器的下极板包括内下极板和外下极板;内下极板为圆形,外下极板为与内下极板同心的圆环形;上极板包括内上极板、外上极板和连接板;内上极板为位于内下极板正上方、开口朝下的圆形框体;外上极板为位于外下极板正上方、开口朝下的圆环形框体;内上极板与外上极板之间通过连接板连接;下极板与上极板形成同心圆环电容结构。本发明选用同心圆环结构,不仅能够在恶劣环境下稳定工作,而且能够有效提高传感器的灵敏度及线性度。 | ||
搜索关键词: | 一种 同心 圆环 结构 差动 sic 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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