[发明专利]冷阱装置在审
申请号: | 202010653356.0 | 申请日: | 2020-07-08 |
公开(公告)号: | CN111856181A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 赵力涛;赵文涛;邢晓;林泉 | 申请(专利权)人: | 江苏鲲鹏未来光学有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01M11/02;G01M11/04;G05D23/22 |
代理公司: | 深圳市力道知识产权代理事务所(普通合伙) 44507 | 代理人: | 何姣 |
地址: | 226000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种冷阱装置,用于光电测试系统,包括:冷阱和基座组件,冷阱包括壳体,壳体包括外套和内套,外套套设在内套外部,内套设有容置腔,外套与内套之间具有真空夹层;基座组件包括样品基座、导热板和隔热层,壳体罩设在所述隔热层上,样品基座设置在容置腔中,导热板的一端与样品基座连接,另一端与外接制冷设备连接,用于调节容置腔内温度;其中,冷阱还包括底座,基座组件安装在底座上,冷阱装置通过底座可拆卸安装在光电测试系统上。 | ||
搜索关键词: | 装置 | ||
【主权项】:
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